超純水部分包括：拋光混床、脫氣膜、TOC—UV、UV殺菌機、絕dui過濾器等設備(在電子領域較多采用)

　　TOC;UV裝置，采用峰值為185nm波長的紫外燈，通過高劑量的UV一185紫外催化，在水中產(chǎn)生。0H翔基自由基，對水中的有機物進行氧化降解，以達到降低水中TOC的含量。特點：綠色、環(huán)保、穩(wěn)定、高效、安全。

　　UV殺菌裝置，采用峰值為254nm渡長的紫外燈，能有效糸滅冠狀病毒、衣原體、支原體、立刻次式體、細菌、真苗、芽孢等有害微生物。系菌滅藻率可達99.99％一100％。