半導(dǎo)體清洗機(jī)原理主要是通過換能器，然后將功率超聲頻源的聲能轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng)，通過清洗槽壁將超聲波輻射到槽子中的清洗液。由于受到了超聲波的輻射，使槽內(nèi)液體中的微氣泡能夠在聲波的作用下從而保持振動(dòng)。
在液體中傳播的超聲波能對(duì)物體表面的污物進(jìn)行清洗，其原理可用“空化”現(xiàn)象來解釋：超聲波振動(dòng)在液體中傳播的音波壓強(qiáng)達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí)，其功率密度為0.35w/cm2，那么這時(shí)超聲波的音波壓強(qiáng)峰值就可達(dá)到真空或負(fù)壓，但是實(shí)際上無負(fù)壓存在，因此在液體中就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)很大的力，然后將液體分子拉裂成空洞一空化核。此時(shí)空洞會(huì)非常接近真空的，它在超聲波壓強(qiáng)反向是會(huì)達(dá)到極限時(shí)破裂，由于破裂而產(chǎn)生的強(qiáng)烈沖擊再將物體表面的污物撞擊下來。這種由無數(shù)細(xì)小的空化氣泡破裂而產(chǎn)生的沖擊波現(xiàn)象稱為“空化”現(xiàn)象。